Si tratta di una soluzione intelligente per l'ottimizzazione dei processi che analizza statisticamente l'impatto dell'esposizione e del tempo di sviluppo sulla distorsione dell'incisione e ricava le condizioni ottimali di controllo del CD utilizzando l'agente di analisi dei dati basato su LLM.

Si tratta di una soluzione intelligente per l'ottimizzazione dei processi che analizza statisticamente l'impatto dell'esposizione e del tempo di sviluppo sulla distorsione dell'incisione e ricava le condizioni ottimali di controllo del CD utilizzando l'agente di analisi dei dati basato su LLM.